表界面分析技术与仪器开发-丁丁

超高真空 · 程序升温脱附
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连接中…

设备连接图

运行 待机 警告 故障/联锁

真空系统

—
腔体压力 (IG1) · Torr

样品加热与测温

—
实测温度 · °C

质谱概览

综合趋势

联锁与告警